隨著工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展，實(shí)驗(yàn)室凈化工程的需求越來越多。除了滿足實(shí)驗(yàn)室的溫濕度要求外，對室內(nèi)的微粒子含量、氣流、壓力等也控制在一定范圍內(nèi)。

1.溫度控制：實(shí)驗(yàn)室凈化工程的具體控制方案為：實(shí)驗(yàn)室凈化內(nèi)的回風(fēng)夾道處安裝冷水盤管，實(shí)驗(yàn)室凈化下架層的格構(gòu)梁上安裝有溫度傳感器，對應(yīng)區(qū)域回風(fēng)夾道處冷水盤管的中溫冷凍水管道上安裝有電動調(diào)節(jié)閥，每個(gè)區(qū)域的溫度與此電調(diào)節(jié)閥構(gòu)成閉環(huán)控制，用控制盤管內(nèi)中溫水流量來控制對應(yīng)區(qū)域的溫度，此PID加適當(dāng)微分，用以克服溫度傳感器的滯后性。

2.濕度控制：實(shí)驗(yàn)室凈化溫度控制穩(wěn)定后，濕度過高容易結(jié)露，過低則容易產(chǎn)生靜電，都會影響液晶面板的良率，因此55％±5％的相對濕度是控制的一個(gè)目標(biāo)。但對于如此大型的潔凈廠房直接加濕和除shi是不現(xiàn)實(shí)的，于是采用非潔凈區(qū)的新風(fēng)機(jī)組通過不停補(bǔ)新風(fēng)的置換來控制。

3.電氣、儀表設(shè)計(jì)，溫濕度傳感器：每個(gè)分廠實(shí)驗(yàn)室凈化面積大概在3萬多m２，平均每500m２范圍內(nèi)安裝一溫濕度一體的傳感器，用以直接監(jiān)視實(shí)驗(yàn)室凈化內(nèi)溫濕度。溫度傳感器：安裝于潔凈間下夾層格構(gòu)梁上，PID設(shè)定值23℃，可以確保氣流經(jīng)生產(chǎn)區(qū)直接吹下來的溫度穩(wěn)定在23℃。